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USC干式超聲波除塵可快速、有效將產(chǎn)品表面的浮塵顆粒進(jìn)行清除，保證極片后續(xù)噴涂、封裝等工序的質(zhì)量。大大降低故障率，提升產(chǎn)品良品率。
快速退火爐廣泛應(yīng)用于IC晶圓、LED晶圓、MEMS、化合物半導(dǎo)體和功率器件等多種芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)，以及歐姆接觸快速合金、離子注入退火、氧化物生長(zhǎng)、消除應(yīng)力和致密化等工藝當(dāng)中。
在光伏電池制程中，等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化，陽(yáng)極表面改性，涂保護(hù)膜前處理等，在提高光伏元件表面親水性、附著力等方面具有顯著的優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，需要解決光伏電池制程中的塵埃污染問題。浮塵顆粒會(huì)附著在基材表面，不僅影響光電轉(zhuǎn)換效率，還可能引發(fā)電池內(nèi)部故障。
接觸角測(cè)量?jī)x是一種用于測(cè)量液體與固體接觸角的儀器，通過測(cè)量接觸角的大小，可以判斷液體在固體表面的潤(rùn)濕性和附著力。
半導(dǎo)體快速退火爐（RTP）是一種特殊的加熱設(shè)備，能夠在短時(shí)間內(nèi)將半導(dǎo)體材料迅速加熱到高溫，并通過快速冷卻的方式使其達(dá)到非常高的溫度梯度。在快速退火爐中，選擇合適的載盤材質(zhì)對(duì)于退火效果和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。
快速退火爐利用鹵素紅外燈作為熱源，通過快速升溫將材料加熱到所需溫度，從而改善材料的晶體結(jié)構(gòu)和光電性能。其特點(diǎn)包括高效、節(jié)能、自動(dòng)化程度高以及加熱均勻等。此外，快速退火爐還具備較高的控溫精度和溫度均勻性，能夠滿足各種復(fù)雜工藝的需求。
