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SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品對(duì)比

在線式真空等離子清洗機(jī)

SPV-12Z在線片式真空等離子清洗機(jī)

半導(dǎo)體行業(yè)專用RF在線片式真空清洗機(jī)，PLASMA處理在線片式等離子處理系統(tǒng)

設(shè)備參數(shù)
型號(hào)SPV-12Z
設(shè)備尺寸1650*1318*1803mm（長(zhǎng)*寬*高）
RF電源 功率0-600W 頻率13.56MHZ
容積12升（長(zhǎng)500*寬340*高70mm）
軌道數(shù)量 4條*2（分為待料區(qū)與處理區(qū)）
氣路配置標(biāo)配兩路，氬氣/氧氣（可定制）
系統(tǒng)控制工控系統(tǒng)

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