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接觸角測定儀主要由分析軟件、注射系統(tǒng)、光源、樣品臺和視頻系統(tǒng)等部分組成。 接觸角的常用測量一般我們叫做“座滴法”測量,顧名思義是指液滴坐落在固體表面的一種測試方法,它又分為靜態(tài)接觸角與動態(tài)接觸角兩種不同的測量方式。
除了以上沉積與鍍膜問題,在清洗上,晶圓表面的潤濕性對晶圓也會有一定的影響,親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進(jìn)行接觸,達(dá)到更理想有效的清洗效果;反之,疏水性表面與清洗液接觸則會形成水珠狀液滴,造成清洗效果不佳,會對后續(xù)的工藝造成不良影響,導(dǎo)致?lián)p失。因此,表面接觸角的測量成為了晶圓制造過程中不可或缺的步驟。
接觸角測量儀,主要用于測量液體對固體的接觸角,即液體對固體的浸潤性,通過光學(xué)投影的原理,對氣、液、固三相界面輪廓進(jìn)行保真采集精密分析。
等離子清洗機(jī)有效清除上游工序殘留表面污垢顆粒;清洗柔性O(shè)LED與CG表面有機(jī)物,改善水滴角,降低GDS發(fā)生,減少異物使產(chǎn)品的信賴性能更優(yōu);
真空等離子體表面處理的特點(diǎn)及應(yīng)用行業(yè)
SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機(jī),專注PLASMA清潔