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接觸角測(cè)量?jī)x在半導(dǎo)體晶圓行業(yè)的應(yīng)用

2022-04-02

自華為芯片收到美國(guó)制裁影響以來(lái),中國(guó)芯片行業(yè)加大研發(fā)力度,促進(jìn)了整個(gè)半導(dǎo)體芯片行業(yè)的高速發(fā)展。半導(dǎo)體行業(yè)中尤其是晶圓的制造,對(duì)清凈度的要求非常高,只有符合要求的晶圓才能制造出高端精密的芯片,接觸角測(cè)量?jī)x作為檢測(cè)等離子清洗效果評(píng)估的主要手段,是評(píng)估晶圓品質(zhì)最有效的工具。因而對(duì)于接觸角的測(cè)試有了更高要求


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接觸角測(cè)量?jī)x的應(yīng)用要求能夠敏銳的捕捉到微滴,晟鼎精密晶圓型接觸角測(cè)量?jī)xSDC-580的滴液精度可到0.01μL(可升級(jí)皮升),專(zhuān)為晶圓Wafer客戶(hù)量身打造的一套全自動(dòng)晶圓接觸角檢測(cè)設(shè)備,矩陣多點(diǎn)測(cè)試,精確方便,可同時(shí)滿(mǎn)足6-12寸晶圓樣品的多點(diǎn)位測(cè)試,可一次性測(cè)量50多個(gè)點(diǎn)位,并可一鍵式導(dǎo)出數(shù)據(jù)圖譜,廣泛應(yīng)用于晶圓材料潤(rùn)濕性能研究。


行業(yè)應(yīng)用

測(cè)量液體在晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤(rùn)濕行為,測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測(cè)量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等全面功能。


測(cè)量方法

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測(cè)量功能

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擬合方法

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